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產品簡介
CVD氣源發(fā)生器，設備配備預壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設計的嵌入式預熱器。
產品分類
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設備配備預壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設計的嵌入式預熱器。液態(tài)前驅體經過蒸發(fā)段氣化，隨后調溫輸出。輸出組分進一步分布或混合，為CVD工藝提供氣態(tài)原料。前驅體接觸的材質均采用耐腐蝕材料。
例
PLC控制系統(tǒng)，Ethernet通訊，與CVD生產線主控系統(tǒng)通訊。
含錫前驅體 | ≤60 | sccm |
含氟前驅體 | ≤20 | sccm |
H2O | ≤60 | sccm |
功率 | 7.5 | kW |
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